Advanced Electronic Materials に論文が掲載され、プレスリリースを公開いたしました。
2025/12/26
博士課程 道古宗俊さんの論文がAdvanced Electronic Materialsに掲載され、プレスリリースを公開いたしました。
詳細は下記をご覧ください。
論文掲載誌：Advanced Electronic Materials
論文タイトル：Thickness Scaling of Integrated Pt/(Al0.9Sc0.1)N/Pt Capacitor Stacks to 30 nm
著者：Soshun Doko, Naoko Matsui, Toshikazu Irisawa, Koji Tsunekawa, Nana Sun, Yoshiko Nakamura, Kazuki Okamoto, and Hiroshi Funakubo
DOI：10.1002/aelm.202500451
